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研磨盘、研磨液和抛光布是实现研磨过程的三大利器
发布时间：
2021-10-25
研磨抛光机用于抛光金属、玻璃和玉石制品。研磨过程中涉及的产品或辅助配件主要包括研磨盘、研磨液和抛光布。研磨抛光机的研磨盘主要是熔化各种金属粉末后铸造而成。这些金属粉末具有一定的韧性和脆性，具有很强的磨削能力，能快速抛光各种工件表面。研磨盘材料有很多种，如钨钢...
研磨抛光机用于抛光金属、玻璃和玉石制品。研磨过程中涉及的产品或辅助配件主要包括研磨盘、研磨液和抛光布。
1、研磨盘
研磨抛光机的研磨盘主要是熔化各种金属粉末后铸造而成。这些金属粉末具有一定的韧性和脆性，具有很强的磨削能力，能快速抛光各种工件表面。研磨盘材料有很多种，如钨钢、氧化铝、氧化铈、合成铁或铜。可根据不同的使用条件或介质确定使用的具体材料。
2、研磨液
研磨盘不能单独用于研磨介质，但必须与研磨液或抛光液一起使用。研磨液一方面可以降低加工过程中磨盘的工作温度，另一方面可以起到润滑作用，不会对加工零件造成损坏。研磨液一般有两种类型：水剂和油剂。比较简单的水剂研磨液可以是简单的肥皂水，它可以由我们自己制造。这种研磨液生产成本很低，但没有防锈能力，不适合磨削金属制品。油剂研磨液是通过制备适当比例的有机溶剂制成的。这种溶剂比较明显的缺点是生产成本高。
3、抛光布
使用抛光布不仅可以提高抛光盘的效率，而且可以保护抛光盘和抛光介质。但是抛光布有一定的使用寿命，不同规格的抛光布对工作温度也有一定的要求。
研磨抛光机的合理使用离不开研磨盘、研磨液和抛光布三种基本辅助配件。它对抛光质量和抛光机的使用寿命有着非常重要的影响。
研磨盘的操作使用：
晶圆磨削过程的控制主要是控制研磨盘的转速和施加的载荷。研磨过程中研磨压力和时间之间的关系如下，先研磨压力需要从较小的位置缓慢增加，以使磨料均匀分散并去除晶圆上的高点。稳定状态下的磨削压力，通常为9.8kpa（100gf/cm²）左右。研磨时间约为10~15min。研磨前，研磨压力也需要缓慢降低。晶圆的研磨速率通常随着以下参数的增加而增加：
(1) 磨削压力增大；
(2) 浆液流速的增加；
(3) 磨浆中磨粉的增加；
(4) 提高磨盘转速。
研磨盘的研磨过程的完成主要基于定时或固定厚度（研磨量）。研磨盘固定厚度的方法是使用厚度探头来检测晶圆的厚度。一旦达到设定厚度，机器将缓慢降压并停止研磨。
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